SAES Getters и STMicroelectronics подписывают соглашение о разработке и производстве MEMS-гироскопов

Компании SAES® Getters Group, мировой лидер в области геттеров для применения в устройствах с высоким вакуумом, и STMicroelectronics, лидер по производству и сбыту MEMS-утсройств (MEMS - микро электро-механическая система), подписали соглашение о сотрудничестве, которое способствует развитию и производству MEMS-гироскопов нового поколения. В гироскопах от  STMicroelectronics будет применятся PageWafer® - продукт компании SAES, самое продвинутой решение в области тонкоплёночных геттеров для поддержания высокого вакуума в MEMS-системах в корпусе типа WLP, для обеспечения большей чувствительности и стабильности устройств.

Микросхемы с MEMS-системами революционизируют полупроводниковую промышленность из-за использования и уникальных электрических свойств и выдающихся механических свойств кремния. Электрические свойства служили основой полупроводниковой промышленности в течение последних 40-50 лет, а использование механических свойств силиконов - это относительно недавнее явление. А MEMS-гироскопы, размерами меньше чем диаметр человеческого волоса, - это относительно новое направление.

Подробнее